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德國inficon高溫壓力計CDG160D
點(diǎn)擊次數：243 更新時(shí)間：2024-10-22
 

德國inficon高溫壓力計CDG160D

 

inficon高溫壓力計CDG160D功能簡(jiǎn)介：

INFICOSKY CDG160D 高溫壓力計是實(shí)現精確總壓測量與控制的理想之選。CDG160D 真空計溫度控制在 160 °C，具有的性能，適用于苛刻的半導體和等離子過(guò)程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿(mǎn)刻度范圍內均可使用，帶有所有常用類(lèi)型的法蘭和現場(chǎng)總線(xiàn)接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類(lèi)型限制的對數壓力信號。INFICO電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時(shí)間短和使用壽命長(cháng)等諸多優(yōu)勢。INFICOCDG 壓力傳感器品質(zhì)，成本效益，適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。

inficon高溫壓力計CDG160D優(yōu)點(diǎn)

2 擁有成本更低，預熱速度快 50%，節能，低功耗

2 易于集成，各種滿(mǎn)刻度、法蘭和接口，標配兩個(gè)設定點(diǎn)

2 輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令，可調零點(diǎn)偏移

2 診斷端口便于快速服務(wù)與維護

2 兩年保修服務(wù)、加熱概念和真空計保護延長(cháng)了使用壽命

2 越的信號穩定性和可重復性，即使是最嚴苛的等離子應用，都無(wú)需長(cháng)期執行重新校準

2 合規和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

inficon高溫壓力計CDG160D典型應用

ü ECT、CTD、PVD和其他半導體生產(chǎn)工藝

ü 化學(xué)和腐蝕性高溫過(guò)程

ü 一般薄膜和真空工藝,需要儀表保護

 

inficon高溫壓力計CDG160D規格

? 準確性閱讀%:0.4

? 精度%：0.003

? 輸出信號(模擬)V (dc)：0.. +10

? 響應時(shí)間：30ms

? 暴露于真空的材料:Aluminum oxide ceramic (AI?O?), stainless steel (AISI 316L )

inficon高溫壓力計CDG160D產(chǎn)品料號

微信圖片_20241022100519.png

 

 inficon高溫壓力計CDG160D外形尺寸：

微信圖片_20241022100530.png
 
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