inficon熱電離真空計BPG552-德國赫爾納(大連)公司

inficon熱電離真空計BPG552總部直接采購，原裝，貨期，支持選型，為您提供一對一解決方案：赫爾納大連公司在中國設有多個(gè)個(gè)辦事處，可為您提供的維修服務(wù)。

INFICON公司簡(jiǎn)介

INFICON是儀器，關(guān)鍵傳感器技術(shù)和過(guò)程控制軟件的提供商，這些產(chǎn)品可復雜工業(yè)真空工藝的生產(chǎn)率和質(zhì)量。這些分析，測量和控制產(chǎn)品對于空調/制冷和汽車(chē)制造中的氣體泄漏檢測。對于光學(xué)和平板顯示器，太陽(yáng)能電池和工業(yè)真空鍍膜應用中的半導體和薄膜鍍膜的復雜制造，它們對于設備制造商和終用戶(hù)。我們基于真空的工藝的其他用戶(hù)包括生命科學(xué)，研究，航空航天，包裝，熱處理，激光切割和許多其他工業(yè)工藝。

對于需要測量范圍從 UHV (5 x10 -10 ) 到 ATM (1000 mbar) 的應用，Trigon™ 系列包括雙技術(shù) BPG552 儀表。BPG552 由 Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和經(jīng)典、堅固且可靠的 Pirani 傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙燈絲提供的精度、可重復性和使用壽命。

inficon 熱電離真空計BPG552優(yōu)點(diǎn)

ü 雙量規（2 個(gè)傳感元件）可實(shí)現寬測量范圍、降低成本并節省空間

ü Bayard-Alpert 系統的 2 根燈絲

ü 皮拉尼聯(lián)鎖保護以避免燈絲過(guò)早燒毀

ü 自動(dòng)高真空皮拉尼調節減少了操作員干預

ü 電隔離電子器件以避免雜散電流

ü 滑動(dòng)排放模式可避免切換排放流時(shí)壓力跳躍和凍結

ü 由于可拆卸校準數據芯片，可烘烤性更長(cháng)

ü 設定點(diǎn)繼電器

ü 明亮、大尺寸 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉），帶用戶(hù)界面

ü 模擬輸出、RS232C串行接口、EtherCAT®

ü 可與 VGC50x 控制器系列結合使用

ü 向后兼容 BPG402

ü RoHS 合規性

inficon 熱電離真空計BPG552典型應用

· 半導體工藝中的壓力測量

· 工業(yè)涂料

· 低至真空范圍系統的一般真空測量和控制

inficon 熱電離真空計BPG552規格

測量范圍（空氣、O 2、CO、N 2）  5×10 -10 … 1000 毫巴

準確性  

1×10 -8 … 1×10 -2毫巴       ±15 讀數

1 x 10 -2毫巴 … 1000 毫巴     讀數的±30%

重復性：讀數的 5%，10 -8 … 10 -2 mbar（穩定 10 分鐘后）

暴露于真空的材料 不銹鋼、NiFe、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、Ni、鎢

inficon 熱電離真空計BPG552備件零件號 描述

354-420   BPG552 備用傳感器頭，KF25

354-421     BPG552 備用傳感器頭，CF40