標題: 瑞士Levitronix 磁懸浮無(wú)軸承泵

一、瑞士Levitronix 公司介紹

瑞士Levitronix成立于2001年，專(zhuān)注于磁懸浮無(wú)軸承電機技術(shù)的產(chǎn)品，其歷史可追溯到上世紀80年代末和90年代初，瑞士聯(lián)邦理工學(xué)院開(kāi)發(fā)了磁懸浮無(wú)軸承電機的概念，并后在90年代末進(jìn)行了商業(yè)化。Levitronix作為無(wú)軸承泵是一個(gè)獲得CE和FDA批準的磁懸浮血液泵的公司，與其他類(lèi)型泵相比，無(wú)軸承泵可以處理無(wú)污染的純流體，用于微電子、生命科學(xué)和工業(yè)應用等，產(chǎn)品范圍包括磁懸浮無(wú)軸承泵、混合器、流量傳感器及粘度計等。Levitronix 具有300多項授權技術(shù)將電機和磁性軸承組合成一個(gè)單元，從而獲得泵可靠性和長(cháng)壽命，并用于惡劣環(huán)境中。Levitronix泵是半導體制造中圓晶清潔、金屬電鍍或CMP漿料輸送的標準用泵。是低剪切泵，適合敏感液體及純液體的輸送，用于細胞疫苗、生物制劑及基因療法等領(lǐng)域。

二、瑞士Levitronix 磁懸浮無(wú)軸承泵

Levitronix 磁懸浮無(wú)軸承泵按應用領(lǐng)域分為，微電子用泵和生物過(guò)程用泵，其中微電子領(lǐng)域用的泵包括BPS 超純無(wú)軸承泵，抗靜電超純無(wú)軸承泵，適合高溫液體的泵以及首代磁懸浮無(wú)軸承泵。

1、Levitronix BPS 超純無(wú)軸承泵（用于微電子領(lǐng)域）

Levitronix BPS系列是為微電子領(lǐng)域中流體的超純處理過(guò)程而設計，基于主動(dòng)磁懸浮，泵葉輪由電機的磁場(chǎng)懸浮和驅動(dòng)，寬的縫隙確保運動(dòng)部件相互之間沒(méi)有機械摩擦，因此沒(méi)有軸承磨損和密封件的損壞。葉輪和外殼均由耐化學(xué)腐蝕的高純氟聚合物樹(shù)脂制成。流體的流速和壓力通過(guò)電子調節葉輪速度進(jìn)行準確控制。其*的優(yōu)勢可提高微電子領(lǐng)域中產(chǎn)品的產(chǎn)量。

BPS 系列采用PTFE的浸濕材料，產(chǎn)品型號有BPS-i30, BPS-i30HP，BPS-i30HF，BPS-i100，BPS-200，BPS-300，BPS-600，BPS-i600，BPS-2000HP，BPS-2000HF，BPS-4000。BPS-i30 max流速為7.4L/min, max 壓差為1.5bar，max 液體溫度為70℃。BPS-4000 max流速為280l/min，max壓差為6.3bar?？筛鶕唧w應用需求進(jìn)行泵選擇。

BPS 抗靜電系列采用不銹鋼或含碳纖維的PTFE浸濕材料。泵型號有：BPS-200AS, BPS-600AS（抗靜電）, BPS-2000AS（抗靜電高流量），BPS-600ST（不銹鋼），BPS-2000ST（不銹鋼高壓）。

BPS 高溫泵采用PTFE浸濕材料，適合高溫液體，型號BPS-4HT，max液體溫度為220℃。BPS 首代無(wú)軸泵浸濕材料采用PFA，PTFE，型號有BPS-1，BPS-3，BPS-4。

Levitronix超純無(wú)軸承泵用于半導體生產(chǎn)中，例如大量化學(xué)物質(zhì)的輸送，光化學(xué)處理，濕法蝕刻，清洗，金屬鍍層，CMP 漿液輸送等。

Levitronix BPS 無(wú)軸承磁懸浮微電子用泵的特點(diǎn)：

w 葉輪和泵頭外殼間無(wú)機械連接，因此泵無(wú)磨損，幾乎無(wú)顆粒產(chǎn)生，確保液體的純度。

w 低金屬污染量，顯著(zhù)低于氣動(dòng)泵，泵的濕表面積比同液壓功率的氣動(dòng)泵小幾倍。

w 低剪切設計，適合漿料和電鍍液，由于沒(méi)有機械軸承，窄的縫隙及死區間等，加之光滑濕潤的表明，可以溫和的處理敏感液體。

w 無(wú)脈動(dòng)，其開(kāi)放式泵頭設計、高流量分辨率、離心泵原理和無(wú)閥門(mén)形成無(wú)脈動(dòng)的流量。

w 寬流量范圍和高可控制，可以實(shí)現寬流量范圍內的準確流量和壓力控制

w 高可靠性，無(wú)軸承磨損和無(wú)密封損壞，使用壽命長(cháng)和維護成本低。

w 高調低比率，從幾ml /min到大流速都可以保持平穩。

w 尺寸比氣動(dòng)泵小，由于泵和電機的高度集成，以及無(wú)軸承設計，占用空間小并可以安裝在密閉空間中。

w 高性能的數據采集，適合系統集成，可用于智能制造系統。

w 低噪音和低震動(dòng)，葉輪和泵殼的磁性聯(lián)軸器幾乎不會(huì )產(chǎn)生振動(dòng)，操作噪音低。

w 集成流量傳感器，將流量傳感器集成到泵系統中，創(chuàng )建反饋回路，便于自動(dòng)化控制。

2、Levitronix PuraLev磁懸浮無(wú)軸泵（適合生物過(guò)程）

Levitronix PuraLev系列泵是用于生命科學(xué)領(lǐng)域的磁懸浮無(wú)軸泵，PuraLev系列磁懸浮無(wú)軸承泵系統用于生物過(guò)程中苛刻的流體應用，其低的剪切力，無(wú)脈動(dòng)和連續的流量可獲得高的產(chǎn)品產(chǎn)量?；诖艖腋〉脑?，泵葉輪懸浮在無(wú)接觸的密封殼內，由電機的磁場(chǎng)驅動(dòng)，從而獲得連續平穩的流量。集合了離心泵的優(yōu)點(diǎn)，但避免機械軸承和密封件損壞的問(wèn)題。

PuraLev有兩個(gè)型號，分為為單次使用的泵，和多次使用泵。單次使用的泵可以更換一次性泵頭，更換簡(jiǎn)單快速，僅需幾分鐘。單次使用的低剪切泵型號有PuraLev i30SU, PuraLev i100SU, PuraLev 200SU, PuraLev 600SU, PuraLev 2000SU, 其中PuraLev i30SU max 流量為7.7L/min，max壓差1.0bar，浸濕材料為可生物兼容的PP。PuraLev 2000SU max流量為 140L/min，max壓差4.3bar。多次使用的低剪切泵型號有PuraLev i100MU, PuraLev 200MU, PuraLev 600MU, PuraLev 2000MU, PuraLev 4000MU。其中PuraLev i100MU max 流量為17.4 l/min，max 壓差2.4bar，浸濕材料為可生物兼容的PFA/PVDF。PuraLev 4000MU max流速為200L/min，max壓差為4.6bar，浸濕材料為可生物兼容的PFA/PEEK/不銹鋼。泵頭易于清洗，可就地清洗，就地蒸壓或高壓滅菌。泵頭可配備或不配排水口。

PuraLev 磁懸浮無(wú)軸承泵的優(yōu)勢：

w 低剪切設計，磁懸浮實(shí)現了無(wú)接觸操作和低剪切設計，用于溫和泵送細胞、蛋白、脂質(zhì)體等敏感液體。

w 高純度液體泵，可確保液體的純度。泵的運動(dòng)部件之間無(wú)機械接觸無(wú)磨損，可避免顆粒物的生成，從而確保液體的純度。

w 介質(zhì)的安全性，無(wú)管道破裂危險，無(wú)論液體流路中發(fā)生什么，流動(dòng)介質(zhì)都是安全的。

w 采用生物兼容的浸濕材料。

w 準確、穩定，可靠的流量，無(wú)脈動(dòng)。

w 適合連續過(guò)程，各個(gè)部件不相互接觸，可實(shí)現長(cháng)時(shí)間內的液體的穩定和安全處理，

w 使用壽命長(cháng)，無(wú)軸承磨損和密封故障，可延長(cháng)使用壽命和降低維護成本。

w 小體積，低噪音。

w 高的調低比率，能夠準確控制和維持從幾ml/min到大流速的流量。

w 集成的流量和壓力傳感器，形成反饋回路，自動(dòng)維持流量

w 適用于漿料等，即固體和液體混合物。

三、瑞士Levitronix 磁懸浮無(wú)軸承技術(shù)的其他產(chǎn)品

Levitronix 除磁懸浮無(wú)軸承泵外，還提供流量控制器、流量傳感器及其他無(wú)軸承技術(shù)的產(chǎn)品，可以集成為成套系統提供用戶(hù)，其他利用磁懸浮無(wú)軸承技術(shù)的產(chǎn)品包括泵罐混合器、磁懸浮晶圓旋轉系統、風(fēng)扇和粘度計，均具有高純度、溫和運行、可靠性和壽命長(cháng)的特點(diǎn)。

Levitronix 提供的流量傳感器有兩種類(lèi)型，一種為在線(xiàn)超聲波流量傳感器，一種是外夾式超聲波流量傳感器，均是基于超聲波原理的無(wú)損/無(wú)侵入的高精度流量傳感器，適合超純無(wú)污染的液體以及性質(zhì)強烈的化學(xué)品。

四、瑞士Levitronix 磁懸浮無(wú)軸承泵及產(chǎn)品的應用

Levitronix磁懸浮無(wú)軸承技術(shù)的泵及其他產(chǎn)品為苛刻的流體應用而設計，主要應用于生物過(guò)程和微電子領(lǐng)域，在這些應用中，超純液體和連續控制的流量將提高產(chǎn)品產(chǎn)量。其中生物過(guò)程領(lǐng)域的應用有細胞灌注，深度過(guò)濾，快速安全的液體轉移，切向流超濾（TFF）等。

無(wú)軸承的泵適合敏感細胞，不損害細胞，以確保細胞的活性，從而提高產(chǎn)品產(chǎn)量。而且無(wú)管道、隔膜、閥門(mén)等損壞的危險，泵的使用壽命和性能無(wú)限制，適合確保安全和連續的生產(chǎn)過(guò)程，用于生物制藥等。

隨著(zhù)微型化和復雜性的不斷提高，微電子行業(yè)應用的工藝要求越來(lái)越嚴格。半導體制造、光伏或LED等領(lǐng)域不同工藝需要大量不同的介質(zhì)。關(guān)鍵工藝過(guò)程中介質(zhì)/液體的純度、安全和可靠交付至關(guān)重要。Levitronix在微電子行業(yè)有20多年經(jīng)驗，提供超純泵系統、混合泵和流量傳感器，用于大規?；瘜W(xué)物質(zhì)的輸送，CMP漿料的輸送，圓晶清潔以及半導體的金屬鍍層等。Levitronix無(wú)軸承泵因為無(wú)機械軸承幾乎不會(huì )產(chǎn)生顆粒，已成為半導體領(lǐng)域超純液體應用的行業(yè)標準。